内容紹介
分光エリプソメトリーは古くからある測定手法であるが、1990年代のコンピュータ技術の急激な進展に伴い、飛躍的な発展を遂げた。その応用範囲も、半導体成長プロセスからバイオ材料の評価まで広がっている。しかしながら、分光エリプソメトリーで測定されるパラメータが難解であること、光学モデルなしには測定値が意味をもたない、偏光というあまり一般的でない物理量を測定するためその基礎理論も難しい、と考えられがちである。 本書では、分光エリプソメトリーの急速な利用拡大を踏まえ、その理解に必要な基礎、および具体的な測定法・解析法についてわかり易く解説。評価材料も半導体からバイオ材料まで取り入れ、広範な分野で本書を利用できるように内容を構成。大学および企業において分光エリプソメトリーを利用し始めた研究者の入門書として最適。
目次
第１章 分光エリプソメトリーとは
１．１ 分光エリプソメトリーの特徴
１．２ 分光エリプソメトリーの用途
１．３ データ解析
１．４ 開発の歴史
１．５ 今後の動向
第２章 光学の基礎
２．１ 光の伝播
２．２ 誘電体
２．３ 光の反射と透過
２．４ 光学干渉
第３章 偏光
３．１ 偏光の表示
３．２ 偏光素子
３．３ ジョーンズ行列
３．４ ストークス・パラメータ
第４章 分光エリプソメトリーの原理
４．１ エリプソメトリーの測定原理
４．２ 各種測定法
４．３ 測定の実際
４．４ 測定の精度と誤差
第５章 データ解析
５．１ （△、ψ）の解釈
５．２ 誘電関数モデル
５．３ 有効媒質近似
５．４ 光学モデル
５．５ データ解析の手順
６章 材料別解析例
６．１ 絶縁体
６．２ 半導体
６．３ 金属／半導体
６．４ 有機／バイオ材料
第７章 分光エリプソメトリーによる実時間観測
７．１ 実時間観測におけるデータ解析
７．２ 実時間観測による薄膜成長観察
７．３ 実時間観測によるプロセス制御
付録
出版社からのメッセージ
本書は改訂版『分光エリプソメトリー 第2版』（2011年5月刊）を刊行しています。
