内容紹介
最近、注目を集めているナノ力学的原子・分子技術の、はじめての総合的な入門・解説書。最新の研究成果を、図を多用し、平明でわかり易く掲載。専門分野が異なる研究者や、学生の教科書としても使用可能な最先端分野報告書。
目次
１ 序論―21世紀の科学と技術
１．１ 21世紀初頭はナノテクノロジーナノサイエンスの時代
１．２ 21世紀初頭に来る半導体デバイスのミクロ化の壁
１．３ 21世紀前半は微細加工微細組立への転換期
１．４ ナノ力学的原子・分子用工具としての原子間力顕微鏡期待
２ 力学的ナノ測定の原理
２．１ ＳＴＭ，ＡＦＭ，ＳＰＭの基礎
２．２ 非接触ＡＦＭ・動的な変位検出
２．３ ダンピングの測定方法
２．４ 非接触動作とタッピング動作の比較
２．５ 正電気力顕微鏡
２．６ 磁気力顕微鏡・鋼管相互作用力顕微鏡
２．７ ＮＣ-ＡＦＭ/ＳＴＭ同時測定
２．８ フォースカーブ測定
２．９ 非接触原子間力顕微鏡の理論的な基礎
２．10 ナノ力学の分子動力学シミュレーション
３ 半導体へのナノ力学的応用
３．１ はじめに
３．２ Si（111）√3×√3-Ag表面の非接触ＡＦＭ測定（室温）
３．３ 水素終端されたSi（100）２×１：Ｈ表面の非接触ＡＦＭ測定
３．４ Si-Sb混在Si（111）5√3×5√3-Sb表面の非接触ＡＦＭ観察
３．５ Si-Ge混在Si（111）7×7-Ge表面の原子識別
３．６ ＬＴ―ＮＣ―ＡＦＭを用いた力学的な原子の操作
４ 半導体のナノ力学的複合測定
４．１ まえがき
４．２ ピエゾ抵抗カンチレバーを利用したＮＣ―ＡＦＭ装置
４．３ 印加電圧によるＮＣ―ＡＦＭ像の変化
４．４ 原子像コントラスト反転の考察
４．５ トンネル電流の同時観察
４．６ ダンピングの同時測定
４．７ まとめ
５ 磁性体へのナノ力学応用
５．１ 強磁性体深針を用いた反強磁性NiO（001）表面のＮＣ―ＡＦＭ観察
５．２ 重ね焼き法を用いたＮＣ―ＡＦＭ像の解析
５．３ まとめ
６ 分子系へのナノ力学的応用
６．１ はじめに
６．２ 有機分子材料の高分解能ＡＦＭ観察
６．３ 静電相互作用とエネルギー散逸
６．４ ダイナミックモードＡＦＭの液体環境への応用
６．５ 今後の展開
７ 走査型プローブ顕微鏡による有機分子の複合計測
７．１ はじめに
７．２ ＫＰＦＭによる有機分子薄膜の表面電位測定
７．３ まとめ
８ 生体高分子ナノ力学
８．１ 生体高分子の力学特性
８．２ ＡＦＭによる力学特性測定法
８．３ 力学特性測定結果とその意義
８．４ 将来への展望
９ 自励発振法を用いた液中観察用原子間力顕微鏡
９．１ まえがき
９．２ 自励発振法を用いたＡＦＭ
９．３ カンチレバーの共振特性
９．４ 自励発振特性
９．５ 液中観察像
９．６ 自励発振の必要条件
９．７ むすび
10 半導体を中心としたナノ力学的理論
10．１ はじめに
10．２ 非接触ＡＦＭ像の第一原理シミュレーション法
10．３ Si（111）√3×√3-Ag表面
10．４ Si（100）２×１表面
10．５ Si（100）２×１：Ｈ表面
10．６ 探針に吸着した原子の位置ゆらぎ
10．７ おわりに
11 バイオ高分子のナノ力学理論
11．１ 計算
11．２ フォースカーブ
11．３ ポリアラニンの構造変化
