内容紹介

日本学術振興会薄膜131委員会のサマースクールの内容を元に「薄膜」という幅広い分野を平易に解説した教科書。専門分野の基礎の再確認と隣接分野の理解に最適。学生や企業の若手を対象とした入門書としては類書がない。改訂により、基本を重視した教科書としての価値を高めるとともに、半導体など新規の技術についての解説もアップデート。

目次

１　薄膜工学の基礎
　１．１　薄膜の歴史
　１．２　薄膜と工学
　１．３　薄膜形成技術
　１．４薄膜の応用
２　薄膜作製法
　２．１　真空蒸着・ＭＢＥ法
　２．２　スパッタリング
　２．３　化学気相成長
　２．４　印刷法
３　薄膜評価法
　３．１　膜厚・形状評価
　３．２　結晶構造評価
　３．３　組成・状態分析
　３．４　力学的・機械的性質の評価
４　薄膜の機能と応用
　４．１　半導体薄膜（シリコン系）
　４．２　半導体薄膜（化合物）
　４．３　薄膜の光学的性質
　４．４　誘電体薄膜
　４．５　磁性薄膜
　４．６　有機薄膜
　４．７　薄膜の化学的性質

出版社からのメッセージ

本書は『薄膜工学 第2版』（2011年6月刊）の改訂版です。
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本書は、少部数印刷にて重版が可能です。
在庫僅少の場合でもご注文いただけますので、お問い合わせください。
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  日本学術振興会薄膜第131委員会 編集企画