内容紹介

日本学術振興会薄膜131委員会のサマースクールの内容を元に「薄膜」という幅広い分野を平易に解説した教科書。専門分野の基礎の再確認と隣接分野の理解に最適。学生や企業の若手を対象とした入門書としては類書がない。改訂により、基本を重視した教科書としての価値を高めるとともに、半導体など新規の技術についての解説もアップデート。

目次

１　薄膜工学の基礎
　１．１　薄膜の基礎
　１．２　薄膜のプロセスと応用
２　薄膜の作製法
　２．１　真空蒸着
　２．２　スパッタリング
　２．３　化学気相成長法
　コラム　超臨界流体薄膜
　　　　　ナノインプリント
　　　　　インクジェット
３　薄膜の評価
　３．１　形状・構造評価
　３．２　組成評価・分析
　３．３　力学的・機械的性質の評価
４　薄膜の機能と応用
　４．１　半導体薄膜
　４．２　光学薄膜と透明導電膜
　４．３　誘電体薄膜
　４．４　磁性薄膜
　４．５　薄膜の化学的性質と機能
　４．６　有機薄膜

出版社からのメッセージ

本書は改訂版『薄膜工学 第3版』（2016年11月刊）を刊行しています。

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