薄膜工学 第2版

薄膜工学 第2版

著者名 金原 粲 監修
吉田 貞史
近藤 高志
日本学術振興会薄膜第131委員会 編集企画
発行元 丸善出版
発行年月日 2011年06月
判型 A5 210×148
ページ数 310ページ
ISBN 978-4-621-08414-4
Cコード 3042
ジャンル 物理学

内容紹介

日本学術振興会薄膜131委員会のサマースクールの内容を元に「薄膜」という幅広い分野を平易に解説した教科書。専門分野の基礎の再確認と隣接分野の理解に最適。学生や企業の若手を対象とした入門書としては類書がない。改訂により、基本を重視した教科書としての価値を高めるとともに、半導体など新規の技術についての解説もアップデート。

目次

1 薄膜工学の基礎
 1.1 薄膜の基礎
 1.2 薄膜のプロセスと応用
2 薄膜の作製法
 2.1 真空蒸着
 2.2 スパッタリング
 2.3 化学気相成長法
 コラム 超臨界流体薄膜
     ナノインプリント
     インクジェット
3 薄膜の評価
 3.1 形状・構造評価
 3.2 組成評価・分析
 3.3 力学的・機械的性質の評価
4 薄膜の機能と応用
 4.1 半導体薄膜
 4.2 光学薄膜と透明導電膜
 4.3 誘電体薄膜
 4.4 磁性薄膜
 4.5 薄膜の化学的性質と機能
 4.6 有機薄膜

定価:本体3,800円+税
在庫:品切れ・重版未定