X線光電子分光法

X線光電子分光法

著者名 日本表面科学会
発行元 丸善出版
発行年月日 1998年07月
判型 A5 210×148
ページ数 244ページ
ISBN 978-4-621-08155-6
Cコード 3342
ジャンル 物理学 >  シリーズ物理学 >  表面分析技術選書

内容紹介

実践を通して各種表面分析法を理解するための知識を提供する『表面分析技術選書シリーズ』。本書は、X線光電子分光法を用いて得られる多様な材料からのデータを実際に役立てるためのデータの評価、解析法などを指南する実用書。

目次

1 XPSの概要
 1・1 電子分光法の特徴
 1・2 XPSの位置づけ(AESとの比較)
2 XPSの原理
 2・1 原理
 2・2 なぜ表面分析ができるのか
 2・3 光電子の発生と挙動
 2・4 光電子の検出深さとバックグラウンド
3 測定装置の原理と構造
 3・1 概要
 3・2 X線源
 3・3 分光器および検出器
 3・4 真空排気系
4 測定法
 4・1 試料調整法
 4・2 測定の実際
 4・3 正しい測定を行うために
5 定性分析
 5・1 光電子ピークの表記法
 5・2 元素の同定
 5・3 ピーク貴族における留意点
 5・4 結合エネルギー値の正確な決定(帯電補正)
 5・5 正しい定性分析を行うために
6 定量分析
 6・1 定量分析の基礎
 6・2 表面化学組成の定量の実際
 6・3 定量分析の実際(計算例)
 6・4 正しい定量分析を行うために
7 状態分析
 7・1 化学シフトによる状態解析法
 7・2 サテライトピークによる状態解析法
 7・3 価電子帯スペクトルによる状態解析法
 7・4 量子化学的アプローチ
 7・5 正しい状態分析を行うために
8 深さ方向の分析
 8・1 深さ方向分析の基礎
 8・2 イオンスパッタリング法
 8・3 角度分解法
 8・4 正しい深さ方向分析を行うために    
9 データベースとデータ処理
付録1 j-j結合とスピン軌道相互作用

出版社からのメッセージ

本書籍は価格変更に伴い、ISBNを変更しました。内容に変わりはありません。

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