デジタル回折光学
| 原書名 | Digital Diffractive Optics |
|---|---|
| 著者名 | 小舘 香椎子 監訳 藤野 誠 訳 駒井 友紀 訳 |
| 発行元 | 丸善出版 |
| 発行年月日 | 2005年03月 |
| 判型 | A5 210×148 |
| ページ数 | 460ページ |
| ISBN | 978-4-621-07568-5 |
| Cコード | 3055 |
| ジャンル | 電気・電子・情報工学 |
内容紹介
回折効果の基礎理論から解説し、さらにデジタル光学の設計理論、作製から技術的な応用における最先端技術について記述。また、光ＭＥＭＳ技術や集積化された導波路、微小屈折光学、マイクロオプティクスなどの新しい分野のデバイスやモジュールの実現について長期的な視点を含めて考察する。デジタル回折光学全体を網羅し、基礎から応用までを系統的に構成しているため、初めてこの分野を学ぶ学生や技術者、先端応用を期待する研究者にとってわかりやすい入門書。
目次
序章 回折から回折光学へ
１．はじめに
２．ホイヘンス―フレネルの回折理論
３．フラウンホーファー回折とフレネル回折
４．ファーフィールド回折パターンの例
５．まとめ
第１章 回折光学素子の設計とシミュレーション
１．はじめに
２．ＤＯＥの回折モデル：理論的背景
３．数値計算の技術
４．ＤＯＥの設計と最適化技術
５．ＤＯＥの設計モデルと数値計算技術
６．文献
第２章 ＤＯＥの作製と複製技術
１．はじめに
２．卓上ＤＯＥ作製技術
３．ダイヤモンド機械装置（diamond machine tools）
４．動的なデバイス
５．マイクロリソグラフィ作製技術（microlithograpihc fabrication technology）
６．マイクロリソグラフィによる作製技術
７．複製技術（replication tecniques）
８．ＤＯＥの設計と作成のまとめ
９．文献
第３章 回折光学素子用のＣＡＤとＣＡＭのツール
１．はじめに
２．ＣＡＤ設計技術
３．ＣＡＤ，ＣＡＭツールにおける高レベルのＤＯＥ操作
４．関連する許容量：設計ルールの確認
５．文献
第４章 回折光学素子の作成許容値解析
１．はじめに
２．最適なマイクロリソグラフィ作製法
３．作製上の制約条件の分析とモデリング
４．作製許容解析
５．作製上の系統的誤差の補償法
６．文献
第５章 ＤＯＥマスクレイアウトの作製
１．はじめに
２．標準的な作製ファイルフォーマット
３．ＤＯＥデータの細分化技術
第６章 システムへの適用を重視したＤＯＥ設計例
１．はじめに
２．ハイブリッド工学システム
３．ハイブリッドレンズのその他の特性
４．オプトエレクトロニクス・システム
５．オプトメカニカル・システム
６．まとめ
７．文献
