内容紹介
走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）は、分解能的には光学顕微鏡と走査ブローブ顕微鏡の間に位置し、手軽な形状観察の手段であった。しかし、環境ＳＥＭや超低加速ＳＥＭなど、この分野にもブレイクスルーが起きていることに加え、そもそもの操作性の良さや、他の計測・加工法との複合化のしやすさなどから、ナノ計測・ナノ加工といったナノファクトリーの重要なツールとして近年新たな活路が見出されるようになってきている。本書は、表面科学、ナノサイエンス、ナノテクノロジーという新たな切り口における驚くべきＳＥＭの能力と可能性について、実際の観察結果を多く織りまぜて解説する。利用者必携の書。
目次
１．走査電子顕微鏡の概要
１・１ 基本構成
１・２ 装置の種類
１・３ 装置としての分解能
２．装置と測定法
２・１ 装置
２・２ 試料処理
２・３ 測定方法
３．像形成と分解能
３・１ 電子と固体との相互作用
３・２ 像形成と各種コントラスト
３・３ ナノ構造の像形成
４．ナノマテリアルの観察
４・１ 半導体 ナノ構造の観察
４・２ カーボンナノチューブの観察
４・３ 微粒子の観察例
４・４ その他の材料
５．その場観察・複合観察
５・１ 超高真空ＳＥＭによるその場観察
５・２ プローブ顕微鏡との複合化
５・３ カーボンナノチューブのハンドリング
出版社からのメッセージ
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